Parylene派樂靈
Parylene(派瑞林)真空沉積製程
其中種類約有 20 種。
常用商業化的有 Parylene N、Parylene C、Parylene F 、Parylene AF-4 等四種。
Parylene 沈積可以經由活潑的單體 monomer 氣體,聚合於物體表面上,不同於一般常見經由液體塗層的方法製備。
其沈積 deposition 過程,係先將對二甲苯的二聚物 di-para-xylylene; dimer 加熱汽化,再透過高溫裂解為對二甲苯 para-xylylene 的單體 monomer,最後聚合成 Parylene。