Parylene派樂靈

Parylene(派瑞林)真空沉積製程

聚對二甲苯 Poly-para-xylylene 簡稱 parylene 派樂靈是一種高分子聚合物
其中種類約有 20 種。
常用商業化的有 Parylene NParylene CParylene F Parylene AF-4 種。


Parylene 沈積可以經由活潑的單體  monomer 氣體,聚合於物體表面上,不同於一般常見經由液體塗層的方法製備。
其沈積
deposition 過程,係先將對二甲苯的二聚物 di-para-xylylene; dimer 加熱汽化,再透過高溫裂解為對二甲苯 para-xylylene 的單體 monomer,最後聚合成 Parylene